1、招标设计范围 　　中国计量学院单人手套箱、磁力显微镜、台阶仪、管式真空晶化炉设备招标。 2、对投标人的要求 2.1、具有中华人民共和国工商行政管理机关颁发的有效企业营业执照。 2.2、具有中华人民共和国承担本项目能力与经验的相关证明。 2.3、注册资金不小于50万人民币。 以上是对投标人最基本的要求。 3、投标费用 　　第一标段收取招标文件工本费200元，第二标段收取工本费300元。无论投标人是否中标，工本费概不退还。 　　投标人应承担所有与编写和提交投标书有关方面的费用，不论投标的结果如何，招标方在任何情况下均无义务承担这些费用。 4、投标报名 　　请于2006年10月11日前通过传真(传真电话:0571-86836053)的方式预先报名,招标工本费在投标当天开标前收取,投标资格以交纳招标费后为准。 5、招标书的发放 招标书可以直接在网上下载。 6、招标日程安排 6.1、发招标书 2006年9月30日——2006年10月11日，直接从附件中下载。 6.2、编标答疑 答疑人：韩建强（86835771）、沈杭燕（13456972600）、 　　卫国英（13757123497）郭花（0571-86836053） 　　地址：中国计量学院明德北楼308 6.3、投标时间：2006年10月12日上午9：00前 6.4、投标地点：中国计量学院明德北楼308室 6.5、询标：韩建强（86835771）、沈杭燕（13456972600）、 　　卫国英（13757123497）郭花（0571-86836053） 6.6、开标：2006年10月12日上午9：00开始（中国计量学院明德北楼311室） 6.7、签约（中国计量学院设备管理处） 招标工作如有变更，招标单位负责通知。 设备需求清单 第一标段： 一、单人手套箱性能指标 数量：1台 ▪ 触摸屏幕：易于进入各功能 ▪ 循环：密闭气体循环，无油、气密 ▪ 气压控制：自动控制，工作气压可设定在范围+/-10mbar ▪ 箱体清洗：自动控制，易于操作，节约气体，对操作溶剂安全 ▪ 脚踏开关：箱内气压可通过脚踏开关调整 ▪ 数据备忘录：自动记录系统数据 ▪ 封闭箱体：304不锈钢板，厚度3mm ▪ 循环管道：304不锈钢板，DN40 ▪ 手套口： 阳极氧化铝 ▪ 照明：视窗前上方装有荧光灯 ▪ 大过渡舱：304不锈钢类型，厚度3mm，直径360mm, 长度600mm ▪ 小过渡舱：304不锈钢板，厚度3mm，直径100mm, 长度300mm ▪ 净化系统：304不锈钢，可再生的净化材料，自动的再生程序 ▪ 压力控制：PLC自动控制，工作压力可设定在+/-12mbar ▪ 吸附装置：304不锈钢板，可更新填充净化材料 ▪ 循环：无油及真空 ▪ 再生：自动再生程序 ▪ 工作气体：氮气、氩气、氦气 ▪ 再生气体：氢气与惰性气体的混合气体，氢气约占5-10％ ▪ 电源要求：单项，220伏/50赫兹，国际标准电源 二、台阶仪 数量：1台 用途：测试MEMS器件台阶高度。 样品尺寸：100mm Z轴测量精度：优于1nm Z轴量程：1mm 三、管式真空晶化炉 数量：1台 温度区间：900℃——1200℃，真空度：8*10-3Pa；炉温均匀性≤8℃ 第二标段： 四、磁力显微镜 数量：1台 测试模式及功能磁力显微镜测量模式 (MFM)；接触模式 (Contact mode)；轻敲模式 (Tapping Mode)；抬起模式 / 负抬起模式 (Lift Mode)；定量相位成像模式 (Quantitative Phase Mode)； 系统主要配置及指标 1)主机控制器 在 (x,y,z) 每个方向各有3个16 Bits DAC (数模转换器，共9个), 分别对基本波形、扫描范围及扫描偏移进行控制，以保证控制精度 ；定量相位成像模块，采用锁相技术，保证相位线性度达到完整的±180° （磁力显微镜必备配件）；相位成像具有自动调零的功能，从而避免相位对比超出范围，造成无法成像；在所有模式的探针逼近样品的过程中，具有自动逼近功能，以保证成像的真实性；下针后，具有在样品表面重新调整共振频率的功能，以准确检测到探针在轻敲成像时的真实频率；在轻敲模式中，系统能自动调节阈值；高速数字信号处理器(DSP)，3MB RAM，20MHz峰值速率；双彩色17"显示器 2)高分辩率测试系统 系统噪音： <0 .03nm，可持续稳定得到原子级分辨率（以云母为标样，测得原子图像（原始数据））；扫描范围10µm x 10µm x 2.5µm (xyz)；10倍物镜（工作距离：49.5 mm；数值孔径：0.2；分辨率：1.6 µm）在14"的彩色监视器上可放大450倍，垂直方向移动范围超过400 mm；spm专用防震系统。 3）磁力显微镜扫描系统 系统噪音： <0.05nm，扫描范围90µm x90µm x 5µm (xyz) 285 ~ 1285倍放大，150-675µm 视场范围，自动聚焦及缩放，1.5µm分辨率，计算机控制照明，彩色ccd摄像头spm专用隔音，防震，电磁屏蔽系统

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